حسگرهاي نيمه رسانا را مي‌توان بر اساس عملكرد آنها گروه بندي كرد. در فهرست زير بعضي از اين گروه‌ها همراه با كاربردهايشان به طور خلاصه ذكر شده‌اند.

·         وسايل با موج صوتي سطحي (SAW) كه با انتشار امواج تنش بين دو ناحيه‌ي پيزو الكتريك در نيمه‌رسانا كار مي‌كنند. خواص انتشار موج در سليكان فركانس را تغيير داده و در انتشار سيگنال ارسال شده تاخير ايجاد مي‌كنند. روش SAW  مبناي نمايشگرهاي گازي و فيلتر هاي سيگنال است.

·         مشخصه‌ي نيرو مقاومتي تراشه‌ي سليكاني كه به آن ناخالصي اضافه شده است. رابطه‌ي بين تغيير مقاومت و تغيير شكل در آن اساس كار كرنش‌سنج‌ها و حسگرهاي فشار نيمه رسانا مي‌باشد.

·         مشخصه‌هاي مغناطيسي تراشه‌ي سليكاني كه ناخالصي به آن اضافه شده، اصولاً اثر هال، مبناي ترانزيستورهاي مغناطيسي نيمه رسانا مي‌باشند كه در آنها جريان كلكتور را مي‌توان توسط ميدان مغناطيسي خارجي مدوله كرد.

·         امواج الكترومغناطيس و تشعشع ذرات هسته‌اي و اشعه‌هايي كه در تغييرات نيمه رسانا شركت دارند، اساس كار حسگرهاي رنگ نوري و ديگر آشكارسازي‌هاي تشعشع را تشكيل مي‌دهند.

·         خواص گرمايي نيمه رسانا، مبناي مقاومت‌هاي لايه‌اي نازك، ترموكوپل‌ها، حسگرهاي هدايتي حرارتي، حسگرهاي رطوبت و ICهاي كنترل  دما را تشكيل مي‌دهند.

با توسعه حسگرهاي نيمه رساناي بسيار متفاوت، اكنون مهندسين شروع به جمع‌آوري حسگرها و مدارات پردازش سيگنال بصورت يك مدار تركيبي (hybrid) نموده‌اند كه در برگيرنده‌ي يك آرايه‌ي مبدل، مبدل A/D ، حافظه‌ي قابل برنامه‌ريزي و ريز پردازنده مي‌باشد. اين بسته‌ي كامل يك ريز سيستم اندازه‌گيري (MMS) را ارائه مي‌دهد كه كوچك، دقيق و ارزان تر از يك سيستم اندازه‌گيري گسسته است. ريز سيستم‌هاي اندازه‌گيري در طراحي سيستمهاي مكاترونيك آينده بيشتر و بيشتر مورد استفاده قرار خواهند گرفت.